选择字体大小: 小 中 大

 

 

 

 

 

 

 
 附录一             名词解释
┌──┬──────┬────┬────────────┐ 
│序号│本规范用名词│曾用名词│  解释                  │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│1   │洁净室      │        │根据需要，对空气中尘粒、│ 
│    │            │        │温度、湿度、压力和噪声  │ 
│    │            │        │进行控制的密闭空间,并   │ 
│    │            │        │以其空气洁净度等级符合  │ 
│    │            │        │本规范规定为主要特征    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│2   │洁净区      │净化区  │由洁净室所组成的区域    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│3   │人身净化用室│人净生活│洁净区工作人员在进入洁  │ 
│    │            │间      │净区之前按一定程序进行  │ 
│    │            │        │净化的辅助用室          │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│4   │物料净化用室│        │物料在进入洁净区之前按一│ 
│    │            │        │定程序进行净化的辅助用室│ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│5   │技术夹层    │管道夹层│主要以水平构件分隔构成  │ 
│    │            │技术阁楼│的供安装管线等设施使用  │ 
│    │            │        │的建筑夹道              │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│6   │技术夹道    │技术走廊│主要以垂直构件分隔成的  │ 
│    │            │技术管械│供安装管线等设施使用的  │ 
│    │            │技术夹墙│建筑夹道                │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│7   │技术竖井    │        │主要以垂直钩件分隔构成  │ 
│    │            │        │的供安装竖向管线使用的  │ 
│    │            │        │井式建筑辅助空间        │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│8   │建筑风道    │        │以建筑构件组成的风道    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│9   │轻型吊顶    │轻吊顶、│以轻型骨架和饰面板材安  │ 
│    │            │软吊顶  │装组成的顶棚            │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│10  │粒      径  │        │指尘粒由某种测定方法测  │ 
│    │            │        │出的长度名义尺寸，并不  │ 
│    │            │        │含有具体的几何形状的意  │ 
│    │            │        │义。当采用光学显微镜测  │ 
│    │            │        │定时，是指尘粒投影通过  │ 
│    │            │        │测微标尺时为标尺刻度线  │ 
│    │            │        │所切两瑞的长度          │ 
│    │            │        │  当采用光散射式粒子计  │ 
│    │            │        │数器测定时，是指标准尘  │ 
│    │            │        │粒（如聚本烯小球）作散  │ 
│    │            │        │射光强度的等效比较而得  │ 
│    │            │        │的综合效果              │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│11  │含尘浓度    │        │指单位体积空气中所含悬  │ 
│    │            │        │浮尘粒的数量            │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│12  │洁净度      │        │    指洁净环境中空气含尘│ 
│    │            │        │粒多少的程度            │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│13  │全室空气净化│全面净化│通过空气净化等技术措施，│ 
│    │            │        │使室内整个空间的空气含尘│ 
│    │            │        │浓度达到本规范的空气洁净│ 
│    │            │        │度等级，这种方式称全室空│ 
│    │            │        │气净化                  │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│14  │局部空气净化│        │  仅使室内工作区域特定的│ 
│    │            │        │局部空间的空气含尘浓度达│ 
│    │            │        │到本规范的空气洁净度等级│ 
│    │            │        │这种方式称局部空气净化  │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│15  │层流洁净室  │平行流  │在洁净室内，空气以均匀的│ 
│    │            │        │断面速度沿平行流线流动（│ 
│    │            │        │与流体力学的层流概念不完│ 
│    │            │        │全相同）                │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│16  │乱流洁净室  │        │在洁净室内，空气以不均匀│ 
│    │            │        │的速度呈不平行流线流动  │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│17  │洁净工作区  │        │指洁净室内（除生产工艺特│ 
│    │            │        │殊要求外）离地面0.8～1.5│ 
│    │            │        │米高度的区域            │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│18  │第一洁净工作│        │  指水平层流洁净室工作区│ 
│    │区          │        │内空气洁净度最后的工作位│ 
│    │            │        │置                      │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│19  │空气吹淋室、│风淋室、│强制吹除工作人员及其衣  │ 
│    │通道式空气吹│空气淋  │服上附着尘粒的设备      │ 
│    │淋室        │浴室    │                        │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│20  │气闸室      │        │  为保持洁净区的空气洁净│ 
│    │            │        │度和正压控制而设置的缓冲│ 
│    │            │        │室                      │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│21  │洁净工作服  │尼龙服、│ 为了把工作人员的皮肤和 │ 
│    │            │无尘服  │衣服产生的尘粒限于最小程│ 
│    │            │        │度所使用的灰尘量少的洁净│ 
│    │            │        │服装                    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│22  │过滤器额定风│        │指在一定滤速下，使其效率│ 
│    │量          │        │和阻力为最合理时的过滤器│ 
│    │            │        │风量                    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│23  │隧道式洁净室│        │  在洁净室内采用层流罩组│ 
│    │            │        │成隧道式的垂直层流型的局│ 
│    │            │        │部洁净工作区，以布置有较│ 
│    │            │        │高空气洁净度要求的生产工│ 
│    │            │        │序或生产流水线          │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│24  │外围建筑    │   b    │  指安装装配式洁净室所在│ 
│    │            │        │的新建或改建建筑物      │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│25  │气流组织    │        │  指对气流流向和均匀度按│ 
│    │            │        │一定要求进行组织        │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│26  │滤膜显微镜  │        │ 将测定用薄膜过滤器捕集 │ 
│    │计数法      │        │到的尘粒用显微镜放大后，│ 
│    │            │        │观察尘粒大小和数量的方法│ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│27  │纯水        │去离子水│ 指温度25℃时，电阻率   │ 
│    │            │深度脱盐│大于0.1×10^6欧姆·厘米 │ 
│    │            │水      │水                      │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│28  │高纯水      │        │指温度25℃时，电阻率大于│ 
│    │            │        │0.1×10^6欧姆·厘米水中 │ 
│    │            │        │大于或等于0.5微米的尘粒 │ 
│    │            │        │小于300粒／毫升，活微生 │ 
│    │            │        │物小于9个／毫升的纯水   │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│29  │纯水终端净  │纯水后处│在用水点附近，对水质作进│ 
│    │化装置      │理设备  │一步净化处理的装置      │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│30  │高纯气体    │        │指纯度大于或等于        │ 
│    │            │        │99，9999％，            │ 
│    │            │        │含水量小于5ppm的气体    │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│31  │气体终端净  │        │在用气点附近，对气体作进│ 
│    │化装置      │        │一步纯化处理的装置      │ 
├──┼──────┼────┼────────────┤
│32  │高效气体过  │        │气体经过滤后，达到小于或│ 
│    │滤器        │        │等于0.5微米尘粒含量小于 │ 
│    │            │        │或等于3.5粒／升的气体过 │ 
│    │            │        │滤器                    │ 
└──┴──────┴────┴────────────┘ 
附录二
        洁净室空气洁净度的测试
    一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：
    （一）空态、静态测试
    空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。
    静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。
    （二）动态测试
    洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
    二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
    三、空态、静态测试
    （一）测试前的准备
    1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
    2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0．5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒／升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米／秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面 封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0．5微米的尘粒超过3粒／分·升（或其穿透率大于0．01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。
    （二）测试内容
    1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；
    2、洁净室压力值；
    3、层流洁净室断面风速和气流流向；
    4、洁净工作区的洁净度；
    5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试；
    6、洁净室内噪声。
    （三）洁净工作区空气洁净度的测试方法
    对于粒径大于或等于0．5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。
    光散射粒子计数法：
    1、光散射粒子计数器采样量
    100级：每次采样量大于或等于1升。
    l，000级－l0,000级：每次采样量大于或等于0．3升。
    100，000级：每次采样量大于或等于0．1升。
    对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；
    如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
    2、采样注意事项
    （1）采样管必须干净，连接处严禁渗漏。
    （2）采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1．5米。
    （3）采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
    （4）采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
    3、测点布置
    （l）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。
    （2）层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0．5～2．0米，粒径大于或等于0．5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
    （3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点（附图2）。每增加20－50平方米，增加3--5个测点。
    4、数据整理
    （1）每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。
    （2）对于大于或等于0．5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。
    （四）正压值测定应采用精度可达0．01毫米水柱的微压计。
    四、动态测试。
    在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。
附录三      洁净厂房生产的火灾危险性分类举例
┌──┬────────────────────────┐ 
│生产│   举    例                                     │ 
│类别                                                  │ 
├──┼────────────────────────┤ 
│甲  │微型轴承装配的精研间、装配前的检查间            │ 
│    │精密陀螺仪装配的清洗间                          │ 
│    │磁带涂布烘干工段                                │ 
│    │化工厂的丁酮、丙酮、环乙酮易燃熔剂的物          │ 
│    │理提纯工作间（光致抗蚀剂的配制工作间）          │ 
│    │半导体材料厂使用氢气的拉晶间、硅烷热分解室      │ 
│    │集成电路工厂的化学清洗间（使用闪点小于28℃的易燃│ 
│    │液体者）外延间、化学气相沉积间和化学试剂贮存间  │ 
├──┼────────────────────────┤ 
│乙  │胶片厂的洗印车间                                │ 
├──┼────────────────────────┤ 
│丙  │计算机房记录数据的磁盘贮存间                    │ 
│    │显像管厂装配工段烧枪间                          │ 
│    │磁带装配工段                                    │ 
│    │集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间              │ 
└──┴────────────────────────┘ 
附录四
            净化空气调节系统
            设计对施工的要求
    一、风管、静压箱和附件的施工，应符合下列要求：
    （一）施工现场应保持清洁。风管及其附件、静压箱、空气调节器、技术夹层、机房以及其它设备、装置等的清洁工作应边施工边进行；
    （二）风管、静压箱和附件等制作后，应存放在清洁、干燥的地点，并应采取防止积尘的措施；
    （三）采用复合钢板、镀锌钢板制作的风管，在加工、安装、施工过程中造成的破损应补涂涂料；
    （四）清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和材料。
    二、高效和亚高效空气过滤器的安装，应符合下列要求：
    （一）必须在土建施工、净化空调系统初效、中效空气过滤器安装完毕，全系统进行检查、擦试、吹洗运转12小时后方能进行；
    （二）高效空气过滤器必须在安装时方可从保护袋中取出，同时应进行透光目视检查。凡滤纸破损、漏胶和外框变形者，不得安装；
    （三）过滤器与安装框架之间，必须采取密封措施；
    （四）过滤器安装就位后，必须进行检漏和堵漏。
    三、装配式洁净室、空气吹淋室、气闸室、余压调节阀等净化设备和部件的安装，应严格按照产品的安装、施工要求进行。
 附录五
              净化空气调节系统设计对维护管理的要求
           一、洁净室的空气，宜按附表５规定进行监测
                 洁净室的空气监测频数     附表5
┌──────┬──┬───┬────┬──────┐ 
│  ＼空气洁  │    │      │        │            │ 
│鉴测＼  净度│100 │1000  │10,000  │  100,000   │ 
│  项目＼等级│    │      │        │            │ 
├──────┼──┴───┴────┴──────┤ 
│温度        │每班二次                            │ 
├──────┼──────────────────┤ 
│湿度        │每班二次                            │ 
├──────┼────┬─────────────┤ 
│正压值      │每周一次│每月一次、                │ 
├──────┼────┼──────┬──────┤ 
│洁净度      │每周一次│每三个月一次│每六个月一次│ 
└──────┴────┴──────┴──────┘ 
 附录六
                  净化空气调节系统风管壁厚
                       风管壁厚          附录6
┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐ 
│风│冷轧镀锌        │铝板制风管      │不锈钢板制风管  │塑料板制风管    │ 
│管│钢板制风管      │                │                │                │ 
│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤ 
│状│外径或最│壁厚  │外径或最│壁厚  │外径或最│壁厚  │外径或最│壁厚  │
│  │大边长  │（毫  │大边长  │（毫  │大边长  │（毫  │大边长  │（毫  │
│  │（毫米）│  米）│（毫米）│  米）│（毫米）│  米）│（毫米）│  米）│
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│圆│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │100～320│3.0   │ 
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│风│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │360～630│4.0   │ 
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │ 
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │700～   │5.0   │ 
│  │1120    │      │2000    │      │200     │      │1000    │      │ 
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1120～  │6.0   │ 
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │2000    │      │ 
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│矩│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │120～320│3.0   │ 
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│风│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │100～500│4.0   │ 
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │ 
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │6300～  │5.0   │ 
│  │1120    │      │2000    │      │2000    │      │800     │      │ 
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1000～  │6.0   │ 
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │1250    │      │ 
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤ 
│  │        │      │        │      │        │      │1600～  │8.0   │ 
│  │        │      │        │      │        │      │2000    │      │ 
└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘ 
附录七
            本规范用词说明
    一、执行本规范条文时，对于要求严格程度的用词说明如下，以便执行中区别对待。
    1、表承很严格，非这样作不可的用词：
    正面词采用“必须”；
    反面词采用“严禁”。
    2、表示严格，在正常情况下均应这样作的用词：
    正面词采用“应”；
    反面词采用“不应”或“不得”。
    3、表示允许稍有选择，在条件许可时，首先应这样作的用词：
    正面词采用“宜”或“可”；
    反面词采用“不宜”。
    二、条文中指明必须按其他有关标准和规范执行的写法为：“应按……执行”或“应符合……要求或规定”。非必须按所指定的标准和规范执行的写法为，“可参照……”。

共8页: 上一页 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] 8