文章简介：洁净厂房设计规范GBJ73-84
附录一 名词解释
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│序号│本规范用名词│曾用名词│ 解释 │
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│1 │洁净室 │ │根据需要，对空气中尘粒、│
│ │ │ │温度、湿度、压力和噪声 │
│ │ │ │进行控制的密闭空间,并 │
│ │ │ │以其空气洁净度等级符合 │
│ │ │ │本规范规定为主要特征 │
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│2 │洁净区 │净化区 │由洁净室所组成的区域 │
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│3 │人身净化用室│人净生活│洁净区工作人员在进入洁 │
│ │ │间 │净区之前按一定程序进行 │
│ │ │ │净化的辅助用室 │
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│4 │物料净化用室│ │物料在进入洁净区之前按一│
│ │ │ │定程序进行净化的辅助用室│
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│5 │技术夹层 │管道夹层│主要以水平构件分隔构成 │
│ │ │技术阁楼│的供安装管线等设施使用 │
│ │ │ │的建筑夹道 │
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│6 │技术夹道 │技术走廊│主要以垂直构件分隔成的 │
│ │ │技术管械│供安装管线等设施使用的 │
│ │ │技术夹墙│建筑夹道 │
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│7 │技术竖井 │ │主要以垂直钩件分隔构成 │
│ │ │ │的供安装竖向管线使用的 │
│ │ │ │井式建筑辅助空间 │
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│8 │建筑风道 │ │以建筑构件组成的风道 │
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│9 │轻型吊顶 │轻吊顶、│以轻型骨架和饰面板材安 │
│ │ │软吊顶 │装组成的顶棚 │
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│10 │粒 径 │ │指尘粒由某种测定方法测 │
│ │ │ │出的长度名义尺寸，并不 │
│ │ │ │含有具体的几何形状的意 │
│ │ │ │义。当采用光学显微镜测 │
│ │ │ │定时，是指尘粒投影通过 │
│ │ │ │测微标尺时为标尺刻度线 │
│ │ │ │所切两瑞的长度 │
│ │ │ │ 当采用光散射式粒子计 │
│ │ │ │数器测定时，是指标准尘 │
│ │ │ │粒（如聚本烯小球）作散 │
│ │ │ │射光强度的等效比较而得 │
│ │ │ │的综合效果 │
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│11 │含尘浓度 │ │指单位体积空气中所含悬 │
│ │ │ │浮尘粒的数量 │
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│12 │洁净度 │ │ 指洁净环境中空气含尘│
│ │ │ │粒多少的程度 │
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│13 │全室空气净化│全面净化│通过空气净化等技术措施，│
│ │ │ │使室内整个空间的空气含尘│
│ │ │ │浓度达到本规范的空气洁净│
│ │ │ │度等级，这种方式称全室空│
│ │ │ │气净化 │
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│14 │局部空气净化│ │ 仅使室内工作区域特定的│
│ │ │ │局部空间的空气含尘浓度达│
│ │ │ │到本规范的空气洁净度等级│
│ │ │ │这种方式称局部空气净化 │
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│15 │层流洁净室 │平行流 │在洁净室内，空气以均匀的│
│ │ │ │断面速度沿平行流线流动（│
│ │ │ │与流体力学的层流概念不完│
│ │ │ │全相同） │
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│16 │乱流洁净室 │ │在洁净室内，空气以不均匀│
│ │ │ │的速度呈不平行流线流动 │
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│17 │洁净工作区 │ │指洁净室内（除生产工艺特│
│ │ │ │殊要求外）离地面0.8～1.5│
│ │ │ │米高度的区域 │
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│18 │第一洁净工作│ │ 指水平层流洁净室工作区│
│ │区 │ │内空气洁净度最后的工作位│
│ │ │ │置 │
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│19 │空气吹淋室、│风淋室、│强制吹除工作人员及其衣 │
│ │通道式空气吹│空气淋 │服上附着尘粒的设备 │
│ │淋室 │浴室 │ │
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│20 │气闸室 │ │ 为保持洁净区的空气洁净│
│ │ │ │度和正压控制而设置的缓冲│
│ │ │ │室 │
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│21 │洁净工作服 │尼龙服、│ 为了把工作人员的皮肤和 │
│ │ │无尘服 │衣服产生的尘粒限于最小程│
│ │ │ │度所使用的灰尘量少的洁净│
│ │ │ │服装 │
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│22 │过滤器额定风│ │指在一定滤速下，使其效率│
│ │量 │ │和阻力为最合理时的过滤器│
│ │ │ │风量 │
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│23 │隧道式洁净室│ │ 在洁净室内采用层流罩组│
│ │ │ │成隧道式的垂直层流型的局│
│ │ │ │部洁净工作区，以布置有较│
│ │ │ │高空气洁净度要求的生产工│
│ │ │ │序或生产流水线 │
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│24 │外围建筑 │ b │ 指安装装配式洁净室所在│
│ │ │ │的新建或改建建筑物 │
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│25 │气流组织 │ │ 指对气流流向和均匀度按│
│ │ │ │一定要求进行组织 │
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│26 │滤膜显微镜 │ │ 将测定用薄膜过滤器捕集 │
│ │计数法 │ │到的尘粒用显微镜放大后，│
│ │ │ │观察尘粒大小和数量的方法│
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│27 │纯水 │去离子水│ 指温度25℃时，电阻率 │
│ │ │深度脱盐│大于0.1×10^6欧姆?厘米 │
│ │ │水 │水 │
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│28 │高纯水 │ │指温度25℃时，电阻率大于│
│ │ │ │0.1×10^6欧姆?厘米水中 │
│ │ │ │大于或等于0.5微米的尘粒 │
│ │ │ │小于300粒／毫升，活微生 │
│ │ │ │物小于9个／毫升的纯水 │
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│29 │纯水终端净 │纯水后处│在用水点附近，对水质作进│
│ │化装置 │理设备 │一步净化处理的装置 │
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│30 │高纯气体 │ │指纯度大于或等于 │
│ │ │ │99，9999％， │
│ │ │ │含水量小于5ppm的气体 │
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│31 │气体终端净 │ │在用气点附近，对气体作进│
│ │化装置 │ │一步纯化处理的装置 │
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│32 │高效气体过 │ │气体经过滤后，达到小于或│
│ │滤器 │ │等于0.5微米尘粒含量小于 │
│ │ │ │或等于3.5粒／升的气体过 │
│ │ │ │滤器 │
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附录二
洁净室空气洁净度的测试
一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：
（一）空态、静态测试
空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。
静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。
（二）动态测试
洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
三、空态、静态测试
（一）测试前的准备
1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0．5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒／升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米／秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面 封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0．5微米的尘粒超过3粒／分?升（或其穿透率大于0．01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。
（二）测试内容
1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；
2、洁净室压力值；
3、层流洁净室断面风速和气流流向；
4、洁净工作区的洁净度；
5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试；
6、洁净室内噪声。
（三）洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0．5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法：
1、光散射粒子计数器采样量
100级：每次采样量大于或等于1升。
l，000级－l0,000级：每次采样量大于或等于0．3升。
100，000级：每次采样量大于或等于0．1升。
对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；
如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2、采样注意事项
（1）采样管必须干净，连接处严禁渗漏。
（2）采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1．5米。
（3）采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
（4）采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3、测点布置
（l）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。
（2）层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0．5～2．0米，粒径大于或等于0．5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
（3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点（附图2）。每增加20－50平方米，增加3--5个测点。
4、数据整理
（1）每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。
（2）对于大于或等于0．5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。
（四）正压值测定应采用精度可达0．01毫米水柱的微压计。
四、动态测试。
在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。
附录三 洁净厂房生产的火灾危险性分类举例
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│生产│ 举 例 │
│类别 │
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│甲 │微型轴承装配的精研间、装配前的检查间 │
│ │精密陀螺仪装配的清洗间 │
│ │磁带涂布烘干工段 │
│ │化工厂的丁酮、丙酮、环乙酮易燃熔剂的物 │
│ │理提纯工作间（光致抗蚀剂的配制工作间） │
│ │半导体材料厂使用氢气的拉晶间、硅烷热分解室 │
│ │集成电路工厂的化学清洗间（使用闪点小于28℃的易燃│
│ │液体者）外延间、化学气相沉积间和化学试剂贮存间 │
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│乙 │胶片厂的洗印车间 │
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│丙 │计算机房记录数据的磁盘贮存间 │
│ │显像管厂装配工段烧枪间 │
│ │磁带装配工段 │
│ │集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间 │
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附录四
净化空气调节系统
设计对施工的要求
一、风管、静压箱和附件的施工，应符合下列要求：
（一）施工现场应保持清洁。风管及其附件、静压箱、空气调节器、技术夹层、机房以及其它设备、装置等的清洁工作应边施工边进行；
（二）风管、静压箱和附件等制作后，应存放在清洁、干燥的地点，并应采取防止积尘的措施；
（三）采用复合钢板、镀锌钢板制作的风管，在加工、安装、施工过程中造成的破损应补涂涂料；
（四）清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和材料。
二、高效和亚高效空气过滤器的安装，应符合下列要求：
（一）必须在土建施工、净化空调系统初效、中效空气过滤器安装完毕，全系统进行检查、擦试、吹洗运转12小时后方能进行；
（二）高效空气过滤器必须在安装时方可从保护袋中取出，同时应进行透光目视检查。凡滤纸破损、漏胶和外框变形者，不得安装；
（三）过滤器与安装框架之间，必须采取密封措施；
（四）过滤器安装就位后，必须进行检漏和堵漏。
三、装配式洁净室、空气吹淋室、气闸室、余压调节阀等净化设备和部件的安装，应严格按照产品的安装、施工要求进行。
附录五
净化空气调节系统设计对维护管理的要求
一、洁净室的空气，宜按附表５规定进行监测
洁净室的空气监测频数 附表5
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│ ＼空气洁 │ │ │ │ │
│鉴测＼ 净度│100 │1000 │10,000 │ 100,000 │
│ 项目＼等级│ │ │ │ │
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│温度 │每班二次 │
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│湿度 │每班二次 │
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│正压值 │每周一次│每月一次、 │
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│洁净度 │每周一次│每三个月一次│每六个月一次│
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附录六
净化空气调节系统风管壁厚
风管壁厚 附录6
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│风│冷轧镀锌 │铝板制风管 │不锈钢板制风管 │塑料板制风管 │
│管│钢板制风管 │ │ │ │
│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤
│状│外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │
│ │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │
│ │（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米）│
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│圆│100～200│0.5 │100～320│1.0 │100～500│0.5 │100～320│3.0 │
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│风│220～500│0.75 │360～630│1.5 │560～ │0.75 │360～630│4.0 │
│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │560～ │1.0 │700～ │2.0 │1250～ │1.0 │700～ │5.0 │
│ │1120 │ │2000 │ │200 │ │1000 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │1250～ │1.2～ │ │ │ │ │1120～ │6.0 │
│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │2000 │ │
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│矩│100～200│0.5 │100～320│1.0 │100～500│0.5 │120～320│3.0 │
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│风│220～500│0.75 │360～630│1.5 │560～ │0.75 │100～500│4.0 │
│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │560～ │1.0 │700～ │2.0 │1250～ │1.0 │6300～ │5.0 │
│ │1120 │ │2000 │ │2000 │ │800 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │1250～ │1.2～ │ │ │ │ │1000～ │6.0 │
│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │1250 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │ │ │ │ │ │ │1600～ │8.0 │
│ │ │ │ │ │ │ │2000 │ │
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附录七
本规范用词说明
一、执行本规范条文时，对于要求严格程度的用词说明如下，以便执行中区别对待。
1、表承很严格，非这样作不可的用词：
正面词采用“必须”；
反面词采用“严禁”。
2、表示严格，在正常情况下均应这样作的用词：
正面词采用“应”；
反面词采用“不应”或“不得”。
3、表示允许稍有选择，在条件许可时，首先应这样作的用词：
正面词采用“宜”或“可”；
反面词采用“不宜”。
二、条文中指明必须按其他有关标准和规范执行的写法为：“应按……执行”或“应符合……要求或规定”。非必须按所指定的标准和规范执行的写法为，“可参照……”。
责任编辑：JJSKT
