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        第五章  空气净化
        第一节  一般规定
    第5．1．1条  洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：
    一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
    二、在满足生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组织，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
    第5．1．2条  层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。
    第5．1．3条  洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：
    一、满足生产工艺要求；
    二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26℃，湿度小于70％；
    三、人员净化用室和生活用室温度为16－28℃。
    第5．1．4条  洁净室内应保证－定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值：
    一、乱流洁净室后送风量的10－30％，层流洁净室总送风量的2～4％；
    二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；
    三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
    第5．1．5条  洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。
    第5．1．6条  在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。
 
       第二节  洁净室正压控制
    第5．2．1条  洁净室必须维持一定的正压。 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于0．5毫米水柱；洁净区与室外的静压差，不应小于1．0毫米水柱。
    第5．2．2条  洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：
    Q＝a．∑(q．L)                     （5．2．2）
    式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量（立方米／时），
    a一根据围护结构气密性确定的安全系数，可取l．l－l．2；
    q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（立方米／时·米）；
    L一围护结构的缝隙长度（米）。
    第5．2．3条  围护结构单位长度缝隙的渗漏风量 可按表5．2．3采用。
            围护结构单位长度缝隙的渗漏风量    表5．2．3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐ 
│  漏风  ＼门窗│    │密│单层│单层│单层│传递│壁板│ 
│   ＼量（＼ 形│非密│闭│固定│固定│开启│窗  │    │ 
│压差＼米^3＼式│闭门│门│密闭│密闭│式密│    │    │ 
│差（毫＼/时 ＼│    │  │木窗│钢窗│闭钢│    │    │ 
│米水柱）＼米）│    │  │    │    │窗  │    │    │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│0.5           │17  │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│1.0           │24  │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤   
│1.5           │30  │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│2.0           │36  │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│2.5           │40  │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│3.0           │44  │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│3.5           │48  │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│4.0           │52  │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│4.5           │55  │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │ 
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ 
│5.0           │60  │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │ 
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘ 
    第5．2．4条  送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。
    第5．2．5条  非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求在置值班风机，并应对新风进行处理。
        
 
        第三节  气流组织和送风量
    第5．3．1条  气流组织的选择，应符合下列要求：
    一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求来。并应使洁净工作区气流流向单一；
    二、回风口宜均匀布置在洁净室下部；
    三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
    第5．3．2条  洁净室的气流组织和送风量，宜按表5．3．2选用。
                 气流组织和送风量    表5．3．2
┌───────┬───────────────┬───────┐ 
│空气洁净      │ 100级                        │      1000级  │ 
│度等级        │                              │              │ 
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤ 
│  │气流流型  │垂直层流      │水平层流      │        乱流  │ 
│气├─────┼───────┼───────┼───────┤ 
│流│送凤      │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布高│1.孔板顶棚送风│ 
│组│主要      │空气过滤器送风│效空气过滤器  │2.条形布置高效│ 
│织│方式      │（高效空气过  │水平送风      │空气过滤器顶棚│ 
│形│          │滤器占顶棚面积│2.送风墙局部布│送风          │ 
│式│          │不小于60％）  │置高效空气过滤│3.间隔布置带扩│ 
│  │          │              │器水平送风    │散板高效空气  │ 
│  │          │2.侧布高效空气│（高效空气过滤│过滤器顶棚送风│ 
│  │          │过滤器，顶棚设│器占送风墙面  │              │ 
│  │          │阻尼层送风    │积不小于40％）│              │ 
│  │          │3.全孔板顶棚送│              │              │ 
│  │          │风            │              │              │ 
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤ 
│  │回风      │1.格栅地面回风│1.回风墙满布  │1.相对两侧墙下│ 
│  │主要      │⑴满布        │回风口        │部均匀布置回  │ 
│  │方式      │⑵均匀局部布置│2.回风墙局部布│风口          │ 
│  │          │2.相对两侧墙下│置回风口      │2.洁净室面积较│ 
│  │          │部均匀布置回  │              │大时，可采用  │ 
│  │          │风口          │              │地面均匀布置  │ 
│  │          │              │              │回风口        │ 
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤ 
│送│气流流经室│不小于0.25    │不小于0.35    │              │ 
│风│内断面风速│              │              │              │ 
│量│（米／秒）│              │              │              │ 
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤ 
│  │换气次数  │              │              │不小于50      │ 
│  │（次／时）│              │              │              │ 
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤ 
│送风口风速    │孔板孔3～5    │              │孔板孔口3～5  │ 
│（米／秒）    │              │              │              │ 
├───────┼───────┼───────┼───────┤ 
│回风口风速    │不大于2       │不大于1.5     │1.洁净室内回风│ 
│（米／秒）    │              │              │口不大于2     │ 
│              │              │              │2.走廊内回风口│ 
│              │              │              │不大于4       │ 
└───────┴───────┴───────┴───────┘ 
注：１.垂直层流洁净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅适用于两对侧侧墙间距不大于5米．
    2.乱流洁净室送风量的确定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素．
┌───────┬───────────┬───────────┐ 
│空气洁净      │      10,000级        │          100,000级   │ 
│等级          │                      │                      │ 
├─┬─────┼───────────┼───────────┤ 
│气│气流流型  │        乱流          │             乱流     │ 
│流├─────┼───────────┼───────────┤ 
│组│送风      │1.局部孔板顶棚送风    │1.带扩散板高效空气过  │ 
│织│主要      │2.带扩散板高效空气过  │滤器顶棚送风          │ 
│型│方式      │滤器顶棚送风          │2.上侧墙送风          │ 
│式│          │3.上侧墙送风          │                      │ 
│  ├─────┼───────────┼───────────┤ 
│  │回风      │1.单侧墙下部布置回风口│1.单侧墙下部布置回风口│ 
│  │主要      │2.当采用走廊回风时，在│2.当采用走廊回风时，在│ 
│  │方式      │走廊内均匀布置回风口或│走廊内均匀布置回风口或│ 
│  │          │在走廊端部集中设置回  │在走廊端部集中设置回  │ 
│  │          │风口                  │风口                  │ 
├─┼─────┼───────────┼───────────┤ 
│送│气流流经室│                      │                      │ 
│风│内断风面风│                      │                      │ 
│量│速        │                      │                      │ 
│  │（米／秒）│                      │                      │ 
│  ├─────┼───────────┼───────────┤ 
│  │换气次数  │        不小于25      │不小于15              │ 
│  │（次／时）│                      │                      │ 
├─┴─────┼───────────┼───────────┤ 
│送风口风速    │1.孔板孔口3～5        │侧送风口              │ 
│（米／秒）    │2.侧送风口            │⑴贴附射流2～5        │ 
│              │⑴贴附射流2～5        │⑵非贴附射流同侧墙下部│ 
│              │⑵非贴附射流同侧墙下部│回风1.5～2.5，对侧墙  │ 
│              │回风1.5～2.5，对侧墙  │下部回凤1.0～1.5      │ 
│              │下部回凤1.0～1.5      │                      │ 
├───────┼───────────┼───────────┤ 
│回风口风速    │1.洁净室回风口不大于2 │1.洁净室回风口不大于2 │ 
│（米／秒）    │2.走廊内回风口不大于4 │2.走廊内回风口不大于4 │ 
└───────┴───────────┴───────────┘ 
    第5．3．3条  乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值：
    一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量；
    二、按表5．3．2规定的送风量；
    三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量；
    四、按空气平行所需要的送风量。
    第5．3．4条  当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5．3． 4－1、图5．3．4－2选用。
    第5．3．5条  层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。
    第5．3．6条  洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。
        
 
    第四节  空气净化处理
    第5．4．1条  各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。
    注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。
    第5．4．2条  确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
    第5．4．3条  净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。
    第5．4．4条  净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。
    第5．4．5条  空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：
    一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器
    二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；
    三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；
    四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；
    五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；
    六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。
    第5．4．6条  送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
    第5．4．7条  净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施
 
        第五节  采暖通风
    第5．5．1条  洁净室的采暖型式，应按下列不同情况确定：
    一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采用散热器采暖；l00，000级洁净室，不宜采用散热器采暖。
    二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。
    第5．5．2条  散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。
    第5．5．3条  洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。
    第5．5．4条  局部排风系统在下列情况下，应单独设置：
    一、非同一净化空气调节系统；
    二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；
    三、所排出的有害物毒性相差很大。
    第5．5．5条  洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：
    一、防倒灌措施；
    二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。
    第5．5．6条  换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施。其室内的静压值，应低于洁净区。
    第5．5．7条  洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时15～20次。事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。 
 
        第六节  风管和附件
    第5．6．1条  风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。
    第5．6．2条  净化空气调节系统的新风管、回风总管，应设置密闭调节阀。送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。洁净室内的排风系统，应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防阀。
    第5．6．3条  净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净要求及其所处的空气环境条件确定。
    洁净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。
    第5．6．4条  在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。
    第5．6．5条  排除腐蚀性气体的风管，可采用塑料风管。其他风管以及风管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。

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